股票代码:603396

产品特点

1.程序控制精确,设备运行稳定

2.自动更换石墨框,提高产能,降低劳动强度

3.机台防腐设计,提高使用寿命和高可靠性

4.花篮传动可暂存3个花篮,降低人员劳动强度

5.整机采用SMC,三菱,神视等进口元件

6.采用伯努力利吸盘,保证低碎片率

7.可选色差检测

8.可选MES和远程诊断




技术参数

板式PECVD上下料机

JC.GF006

产能

6000pcs/h3000 load3000 unload

上料方式

100 Cassettestack /25/50/100 Optional

下料方式

100 Cassettestack/25/50/100 Optional

硅片厚度

0.16mm

硅片宽度

156mm*156mm

碎片率

0.05%

开机率

98%

设备尺寸(长×宽×高)

L4020*W3560mm*H1900mm

操作高度

1000mm±25mm

碳框尺寸

8*10 (5*5,5*6,8*10,9*10 Opitoinal)